Металлизатор-вакуумщик. Учебник для технических училищ

М. М. Золотарев

МЕТАЛЛИЗАТОРВАКУУМЩИК Одобрено Ученым советом Государственного комитета СССР по профессионально-техническому образованию в качестве учебника для технических училищ

МОСКВА «ВЫСШАЯ ШКОЛА» 1978

ББК 32.851 3-80

Со всеми замечаниями и предложениями просим обращаться по адресу: Москва, К-51, Неглинная ул., 29/14, издательство «Высшая школа».

Золотарев М. М. Металлизатор-вакуумщик: Учебник для техн. училищ. — М.: Высш. школа, 1978. — 239 с, ил.— (Профтехобразование. Вакуумпая техника). В книге рассмотрены основные виды вакуумного и технохимического оборудования, объяснена сущность технологических процессов металлизации деталей и узлов электровакуумных приборов (ЭВП). Особое место в книге занимают вопросы производственной гигиены, механизации и автоматизации технологических процессов, техники безопасности, стандартизации и контроля качества на предприятиях электронной промышленности Книга предназначена для подготовки металлизаторов-вакуумщиков в технических училищах. ББК 32.851 6Ф0 31

ПРЕДИСЛОВИЕ

ГЛАВА I ОСНОВЫ ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ (ЭЛЕКТРОННОВАКУУМНОЙ) ГИГИЕНЫ § 1. СОСТОЯНИЕ КУЛЬТУРЫ ПРОИЗВОДСТВА НА ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРЕДПРИЯТИЯХ

ГЛАВА II ГАЗОВОЕ ХОЗЯЙСТВО

ГЛАВА III ДОПУСКИ, ПОСАДКИ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ

Г Л А В А IV ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ

ГЛАВА V ОСНОВНЫЕ ЗАКОНЫ И ПОНЯТИЯ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ. ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

Таблица 6.

Классификация

вакуумных

насосов

ГЛАВА

VI

МЕТАЛЛИЗАЦИЯ В ВАКУУМЕ

ГЛАВА

VII

ТЕХНОЛОГИЯ ХИМИЧЕСКИХ СПОСОБОВ МЕТАЛЛИЗАЦИИ

ГЛАВА

VIII

ТЕХНОЛОГИЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

ГЛАВА

IX

ТЕХНОЛОГИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ КЕРАМИКИ ДЛЯ СПАЕВ С МЕТАЛЛАМИ

ГЛАВА X ТЕХНОЛОГИЯ НАНЕСЕНИЯ ТЕПЛОИЗЛУЧАЮЩИХ И АНТИЭМИССИОННЫХ ПОКРЫТИЙ

ГЛАВА XI МЕХАНИЗАЦИЯ И АВТОМАТИЗАЦИЯ Т Е Х Н О Л О Г И Ч Е С К И Х ПРОЦЕССОВ П Р О И З В О Д С Т В А ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ

ГЛАВА

XII

ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ И ПРОТИВОПОЖАРНЫЕ МЕРОПРИЯТИЯ НА ПРЕДПРИЯТИЯХ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

ГЛАВА

XIII

ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА

ПРИЛОЖЕНИЯ

ЛИТЕРАТУРА Александрова А. Т. Оборудование электровакуумного производства. М.: Энергия, 1974. Б е ш а г и н С. П. Огневое оснащение стеклообрабатывающего оборудования электровакуумного производства. — М . : Энергия, 1967. Берлин И. 3., Смирнов Н. А. Пожарная безопасность объектов народного хозяйства — М.: Издательство ДОСААФ, 1971. В а р л а м о в В. А., Ш е х м е й с т е р Е. И. Сборочные операции в электровакуумном производстве.—М.: Высшая школа, 1974 3 а к и р о в Ф. Г., Николаев Е. А. Откачик-вакуумщик. — М.: Высшая школа, 1977. З о л о т а р е в М. М, Н о в и к о в а Л. А. Нанесение полупроводниковых пленок двуокиси олова на стеклянные конусы вместо алюминирования. — «Электровакуумная техника», 1962, № 29 И о р и ш А. С. и др. Основы технологии производства электровакуумных приборов. — Л : Энергия, 1971. К о р о л е в Б. И. Основы вакуумной техники. — М.: Энергия, 1975 Минаков В. И, К о г а н М. 3. Производство тонкопленочных микросхем — Л.: Энергия, 1973. Шехмейстер Е. И. и др. Технохимические работы в электровакуумном производстве. — М.: Высшая школа, 1970.

ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие

3

Глава I. Основы производственной (электронно-вакуумной) гигиены § 1. Состояние культуры производства на электровакуумных предприятиях § 2 Классификация производственных помещений . . § 3 Требования к территории предприятий и эксплуатации помещений § 4. Меры по защите воздуха помещений от загрязнений § 5. Требования производственной гигиены к работникам электронных предприятий § 6. Хранение очищенных деталей и их транспортировка

11 12

Глава II. Газовое хозяйство

13

§ 7. Газы, используемые на предприятиях электронной промышленности § 8. Основные свойства горючих газов § 9. Газовые горелки § 10. Газовая и контрольно-измерительная аппаратура. Газопроводы Глава III. Допуски, посадки и технические измерения § 11. Взаимозаменяемость деталей. Допуски и посадки . § 12. Измерительные средства и точность измерения . § 13. Измерительные инструменты и приборы . . . . Главы IV. Очистка поверхности деталей § 14. Назначение процесса очистки поверхности деталей § 15. Химическое обезжиривание в щелочных составах и органическими растворителями § 16. Ультразвуковое обезжиривание § 17. Химическое правление Составы травильных растворов § 18 Электрохимическая очистка. Составы электролитов § 19 Полирование деталей § 20 Очистка окислительно-восстановительным отжигом § 21. Контроль качества очистки деталей

5 5 6 7 9

13 15 17 23 32 32 33 35 42 42 44 49 51 54 56 58 59

Глава V. Основные законы и понятия вакуумной техники. Контрольно-измерительные приборы. Вакуумное оборудование

60

§ 22. Вакуум. Газ. Пар. Основное уравнение состояния газов 60 § 23. Основные газовые законы 62 § 24. Средняя длина свободного пути молекул . . . 64 § 25. Свойства газов 66 § 26. Режимы течения газов при различных степенях вакуума 69 § 27. Процесс откачки и его основные характеристики Основное уравнение вакуумной техники . . . 70 § 28. Контрольно-измерительные приборы, применяемые в вакуумном оборудовании 72 § 29. Вакуумные насосы 79 § 30. Вакуумные системы 92 § 31. Технологический процесс откачки электровакуумных приборов 100 § 32. Вакуумное оборудование и его обслуживание . . 103 Глава VI. Металлизация в вакууме

105

§ § § § §

33. Методы получения тонких пленок 105 34. Структура и свойства металлических пленок . ..114 35. Основные требования к подложкам 116 36. Назначение и конструкция испарителей . . . . 117 37. Вспомогательные операции, необходимые для получения покрытий высокого качества . . . . 125 § 38. Оборудование для вакуумного нанесения металлических покрытий 127 § 39. Контроль толщины покрытия в процессе напыления 132 Глава VII. Технология химических спосбов металлизации .

. 136

§ 40. Химические способы металлизации § 41. Технология нанесения различных покрытий . . § 42. Нанесение полупроводящей пленки на стекло и слюду § 43. Разные покрытия Глава § § §

VIII. Технология гальванических покрытий 44. Гальванические, покрытия 45. Технология нанесения различных покрытий . 46 Контроль качества покрытий

Глава IX. § 47. § 48. § 49. § 50.

.

Технология металлизации керамики для спаев с металлами Назначение металлизации, наносимой на керамику Оборудование для изготовления изделий из керамики Технология нанесения металлических паст на керамику Металлокерамические узлы и их надежность . .

Глава X. Технология нанесения теплоизлучающих эмиссионных покрытий § 51. Назначение покрытий § 52. Бронзирование и меднение

н

136 140 150 158 163 163 .170 185 188 188 190 193 201

анти202 202 205

§ 5 3 Полупроводниковые покрытий . . . . 206 § 54 Разные металлизированные покрытия . 208 Глава XI. Механизация и автоматизация технологических процессов производства электронных приборов ..... 211 § 55. Современные средства автоматизации оборудования ..211 § 56 Механизированные и автоматизированные поточные линии в производстве массовых типов электронных приборов 212 Глава XII. Техника безопасности и противопожарные мероприятия на предприятиях электронной промышленности 218 § 57. Техника безопасности на предприятиях электронной промышленности § 58. Электробезопасность ......... § 59. Оказание первой помощи при поражении электрическим током § 60. Меры пожарной безопасности на предприятии.......... Глава XIII. Основные понятия по стандаризации. Контроль качества § 61. Сущность и объекты стандартизации. Виды стандартов § 62. Метрологическая служба в СССР . . . . . . . § 63. Качество продукции и методы его оценки. Комплексная система управления качеством Приложения

229 232 ' 233 235

Литература

236

218 221 223 224 229

Михаил Михайлович Золотарев МЕТАЛЛИЗАТОР-ВАКУУМЩИК